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这种照相机是用来制作“图像母版”
的,能在照片底片上产生矩形阵列微小的、相同的图像,这就是现在集成电路制作所称的“掩膜”
了。
先将一种特殊的光敏树脂沉积在晶片的二氧化硅层上,再将光透过掩膜照射到光敏树脂上,形成想要的图案。
然后用强酸冲洗晶片,将图案部分腐蚀掉,露出晶片下面的硅。
之后,再将杂质扩散到硅中,形成各种PN结。
1958年我和赫尔尼、拉斯特对这种平面照相技术进行了改良,制作出来第一台用于硅晶体三极管制作的光刻照相机。
到1958年,利用平面照相技术,我们仙童已经可以在一块晶圆上批量制作相同的晶体管。
1959年1月23日,我开始思考,既然已经可以批量制作晶体管,为什么不能把多种组件放在单一硅片上,通过内部连接形成“集成电路”
呢。
这种方式不但能够减少产品的体积和重量,价格也会降低,让咱们仙童更具竞争优势。
于是,我、赫尔尼和拉斯特为首,开始着手“集成电路”
的研究。
当然,我们成功了!
我们在硅片上加上一层氧化硅作为绝缘层,然后在这层绝缘层上“打洞”
,用铝薄膜将已经用硅扩散技术做好的器件连接起来。
这样器件之间需要连接的能够连接,需要隔离绝缘的能够绝缘。
看看,我的想法显然是领先于基尔比的,因为我们有光刻照相机,咱们的赫尔尼和拉斯特把平面工艺发扬光大了。
而德州仪器,在这个时期毛都没有,啊哈哈哈哈。
】
杰克·基尔比:【话虽如此,但其实咱们用的技术大多出于贝尔实验室才是真的。
】
诺伊斯:【当然,这点我并不否认。
其实,即使这些发明和想法不出现在仙童,当半导体工艺发展到一定程度也会出现在别处。
不出现在1959年,也一定会出现在后面的某一个节点。
所以,其实……】
杰克·基尔比:【其实我们应该感谢贝尔实验室的技术奠基,也感谢那个能商业化的时代,让实验室的技术能够得到进一步的实用、商业规模化和进一步提升。
】
诺伊斯:【嗯,是这个道理。
其实,基尔比,你是一个很好的工程师,拥有绝佳的解决问题的能力。
】
基尔比:【嗯,其实比起科学家,我更愿意做一名工程师。
科学家是解释事物的人,工程师是解决问题的人。
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